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刃口測量儀技術參數

更新時間:2018-03-21       點擊次數:1665

小測量半徑:2µm

小測量楔角:20°

小測量粗糙度(Ra):80nm

小測量粗糙度(Sa):50nm

大掃描高度:25mm

大操作距離:17.5(5×物鏡)

大擴展視野范圍:2500mm2

垂直分辨率:20nm

大單一方向測量范圍:50mm

位移范圍(X/Y):50mm×50mm(自動調節)

位移范圍(Z):130mm(26mm自動調節)

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