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表面形貌測量的幾大技術有必要了解下

更新時間:2018-09-26       點擊次數:2178
   表面形貌測量的幾大技術有必要了解下
  表面形貌測量儀采用全自動共焦三維測量,于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,入射光照射至工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。
  以下為表面形貌測量常用技術:
  ★機械探針式測量
  探針式輪廓儀測量范圍大,測量精度高,但它是一種點掃描測量,測量費時。機械探針式測量方法是開發較早、研究充分的一種表面輪廓測量方法。它利用機械探針接觸被測表面,當探針沿被測表面移動時,被測表面的微觀凹凸不平使探針上下移動,其移動量由與探針組合在一起的位移傳感器測量,所測數據經適當的處理就得到了被測表面的輪廓。機械探針是接觸式測量,易損傷被測表面。
  ★光學探針式測量
  光學探針式測量方法原理上類似于機械探針式測量方法,只不過探針是聚集光束。根據采用的光學原理不同,光學探針可分為幾何光學原理型和物理光學原理型兩種。幾何光學探針利用像面共軛特性來檢測表面形貌,,有共焦顯微鏡和離焦檢測兩種方法:物理光學探針利用干涉原理通過測量程差來檢測表面形貌,有外差干涉和微分干涉兩種方法。光學探針是非接觸測量,,但需要一套高精度的調焦系統。
  ★干涉顯微測量方法
  干涉顯微測量方法利用光波干涉原理測量表面輪廓。與探針式測量方法不同的是,它不是單個聚焦光斑式的掃描測量,而是多采樣點同時測量。干涉顯微測量方法能同時測量一個面上的表面形貌,橫向分辨率取決于顯微鏡數值孔徑,一般在m或亞m量級;橫向測量范圍取決于顯微鏡視場,大小在mm量級;縱向分辨率取決于干涉測量方法,一般可達nm或0.1nm量級;縱向測量范圍在波長量級。因此干涉顯微測量方法比較適宜于測量結構單元尺寸在m量級,表面尺寸在mm或亞mm量級的微結構。
  ★掃描電子顯微鏡
  掃描電子顯微鏡利用聚焦得非常細的電子束作為電子探針。當探針掃描被測表面時,二次電子從被測表面激發出來,二次電子的強度與被測表面形貌有關,因此利用探測器測出二次電子的強度,便可處理出被測表面的幾何形貌。

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