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三維表面檢測儀掃描測頭的誤差分析

更新時間:2020-11-22       點擊次數:1603
   三維表面檢測儀又稱三維影像測量儀或非接觸式光學測量儀,是集光學、機械、電子、計算機圖像處理技術于一體的高精度、高效率、高可靠性的測量儀器。該儀器采用非接觸式三維測量方式,可進行快速精密的幾何尺寸和形位公差的測量,具有良好的剛性質量比,運動平穩、準確,確保了整機精度更高。
  三維表面檢測儀采用有限元分析技術設計,具有高精度、高性能高速度和高穩定性的特點。使用冷光源系統,可避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產生的誤差,并避免了由于碰觸引起的變形。檢測儀可高效地檢測各種復雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,全自動地進行微觀檢測與質量控制;還可自動抓邊、自動聚焦的功能使得大程度減少了人為誤差。
  三維表面檢測儀高速掃描時由于加速度而引起的動態誤差很大,不可忽略,必須加以補償。在掃描過程中出現測頭總是沿著曲面表面運動,即使速度的大小不變亦存在著運動方向的改變,因而總存在加速度及慣性力,使得檢測儀發生變形,測頭也在變負荷下工作,由此而導致測量的誤差,掃描速度越高影響越大,甚至成為掃描測量誤差的主要來源。
  減小高速掃描時的動態誤差的辦法如下:
  1.改進檢測儀的結構剛性,但不要過多增加結構質量以免增加運動慣性力。
  2.改進控制系統剛性及跟隨性,保證高速掃描時針尖不會離開零件表面。
  3.檢測儀的掃描測頭結構本應能適用于高速掃描。好的辦法是量化動態誤差并進行掃描動態誤差補償。

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