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白光干涉儀主要測量原理及應用簡介

更新時間:2021-01-07       點擊次數:1262
   白光干涉儀的光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚并發生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
  白光干涉儀的測量應用說明:
  以測量單刻線臺階為例,在檢查儀器的各線路接頭都準確插入對應插孔后,開啟儀器電源開關,啟動計算機,將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調整載物臺大概位置,對準白光干涉儀目鏡的下方。
  在計算機上打開光學3D表面輪廓儀測量軟件,在軟件界面上設置好目鏡下行的低點,再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕,光學3D表面輪廓儀可自動進行掃描測量,測量完成后,軟件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進行數據分析,獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
  白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高效率檢測。*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

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