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白光干涉三維形貌儀

簡要描述:白光干涉三維形貌儀SPA25是德國 dataphysics 公司新推出的一款三維表面測量儀器,基于白光干涉原理,小垂直分辨率可達 0.1nm。

  • 產品型號:SPA25
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2022-11-17
  • 訪  問  量:3626

詳細介紹

——  白光干涉三維形貌儀SPA25 ——

 

 

——  帶操縱桿的電動樣品臺 ——

 

白光干涉三維形貌儀SPA25的自動樣品臺:

軟件或操作桿控制自動樣品臺可準確測量定位,并能實現大面積測量的自動移動和拼接功能,大測量面積為:300mm*300mm。

 

 

——  帶操縱桿的電動樣品臺 ——

 

白光干涉三維形貌儀SPA25的軟件:

MountainsMap Imaging Topography software 強大的測量和分析軟件可完成所有表面分 析的要求。計算表面結構和表面粗糙度符合不同的工業標準,如:ISO25178,ISO4287, ISO13565,ISO16610 等。

 

 

 

應用范圍廣:

由于結合了高的測量分辨率,快的測量速度和強大的分析軟件使 SPA25 三維形貌儀具有 非常廣的應用范圍。如大面積樣品的 3D 表面形貌測量,表面缺陷測量,表面結構測量, 表面粗糙度測量等。 

 

——  10x 和 50x 顯微鏡物鏡 ——

 

顯微鏡物鏡

SPA 25 使用 Mirau 干涉儀顯微鏡物鏡。這些物鏡具有不同的放大倍數,這些放大倍數會 影響 XY 尺寸的分辨率。請注意,由于利用了白光干涉測量技術,Z 維度的分辨率與放大倍數無關。

 

 

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